射频溅射论文

氮分压对氮化锆薄膜颜色影响的研究

一、氮分压对氮化锆薄膜颜色影响规律的研究（论文文献综述）吴键坤,李兆国,彭丽萍,易勇,张继成[1]（2021）在《氮分压对ZrN薄膜结构及颜色的影响》文中进行了进一步梳理采用直...
圆柱旋转双面矩形磁控溅射靶的磁场设计与计算

一、圆柱旋转双面矩形磁控溅射靶磁场的设计计算（论文文献综述）王永清,沈懿璇,万真真,余兴,王海舟[1]（2021）在《辉光放电磁控溅射靶材利用率和刻蚀均匀性方法研究与进展》文中...